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真空壓力傳感器的原理及用途是怎樣的?

2022-05-22 [1100]
   真空壓力傳感器是能感受壓力信號,并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號的器件或裝置??梢酝ㄟ^它們所能測量的壓強(qiáng)范圍,工作溫度以及壓強(qiáng)類型而進(jìn)行分類;其中重要的是壓強(qiáng)類型。
 
  真空壓力傳感器的原理:
  主要分為兩類:分別是半導(dǎo)體壓電阻型和靜電容量型,下面我們分別介紹一下它們的原理。
 
  半導(dǎo)體壓電阻型:在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過外力使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
 
  靜電容量型:將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對而形成電容,將通過外力使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。
 
  真空壓力傳感器的用途:
  由于結(jié)構(gòu)不同,可以分為測定絕對壓力、對大氣的相對壓力和差壓。測定絕對壓力時(shí),傳感器內(nèi)自身帶有真空參考壓,所測壓力與大氣壓力無關(guān),是相對于真空的壓力。對大氣的相對壓力是以大氣壓力為參考壓,因此傳感器彈性膜一側(cè)始終與大氣是連通的。由于大氣壓力與離地面的高度、四季中大氣中水汽含量的變化以及不同地點(diǎn)和組成大氣的各種氣體的含量的變化有關(guān)。因此,所測得的相對壓力便與上述因素有關(guān)。
 
  此外,還可從傳感器彈性膜兩側(cè)分別導(dǎo)人流體壓力,這樣能測定流體不同地點(diǎn)或流體間的差壓。針對不同用途應(yīng)選用不同結(jié)構(gòu)的壓力傳感器。
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